(半導體製程)低壓真空電漿腔體
Low-pressure CCP/ICP chambe
奈秒脈衝產生器
NPG-18/3500(N) (35 kV, rising time: 4 ns)
電源供應器(Kilo Hz AC)
PP-20201-AVFD, Nai Ding Tech. Inc.
高壓脈衝產生器
PP-50201-AVFD (10 kV, rising time: 1 μs)
光譜儀
Avaspec-ULS2048L-USB2
(190~1100 nm, 解析度: 0.1 nm)
光譜儀
Avaspec-ULS4096CL-EVO
(280-330 nm, 解析度: 0.02 nm)
示波器
Keysight DSOX3054T (500 MHz, 5 GSa/s)
Keysight DSOX3024T (200 MHz, 5 GSa/s)
紅外線測溫儀
Nippon Avionics F50A
高壓探棒
Tektronix: P6015A
MFC 與控制器
PROTEC Instrument PC540
I/O 卡
National Instrument cDAQ 9174/ 9401
DBD反應器+紫外光吸收光譜
(量測臭氧)
DBD反應器+紫外光吸收光譜
(量測OH)